03版：综合
本报讯（记者 曲经纬）近日，总投资11亿元的富创精密半导体装备零部件全工艺智能制造生产基地和集成电路装备零部件研发制造基地在马驹桥镇智造基地竣工投用。这座占地83.55亩（1亩≈666.67平方米）、总建筑面积5.9万平方米的半导体零部件智造工厂，不仅将填补国内5纳米至7纳米先进制程核心零部件全工艺生产空白，更成为马驹桥镇吸引高端制造企业、完善产业链生态的又一案例。
“从设备调试遇阻到两周内解决难题，马驹桥镇的响应速度让我们下定决心在这里深耕。”北京富创精密半导体有限公司总经理宋洋指着车间里即将安装的自动化精密清洗线，语气里满是感慨。作为国内唯一能提供IC装备精密零组件全制程工艺解决方案的企业，富创精密此次落地的基地堪称“半导体零部件智造标杆”，从等离子喷涂到ALD镀膜，从半导体反应腔零部件到匀气盘产线，5.9万平方米的厂房里，将建成国内一流的全工艺生产线，未来可为北方华创头部装备企业提供国产替代核心部件。
这份扎根的信心，离不开马驹桥镇“管家式”的服务保障。今年上半年，企业在设备调试阶段急需少量化学品，却因手续流程卡了壳。“我们抱着试试看的心态找镇里反映，没想到当天就有工作人员来现场对接。”宋洋回忆，镇里不仅协调市公安局通州分局、区协同中心开展实地考察，还手把手指导备案材料填报，最终两周内就办好了所有手续。更让企业暖心的是，镇平安办（安监）、派出所还主动上门，针对化学品运输储存给出专业规范建议，“连仓库通风口的位置都帮我们算好了，这种想在前头的服务，让我们能安心搞生产。”
如今，随着富创精密基地的竣工，马驹桥镇的高端制造产业链正加速“补链强链”。“这里不仅有智造基地的产业载体，更有‘企业有诉求、政府快响应’的营商环境。”马驹桥镇党委书记魏欣表示，近年来，越来越多像富创精密这样的高端制造企业选择落地，“从零部件研发到装备组装，上下游企业在这里能找到邻居，形成产业合力。我们要做的，就是持续优化服务，让企业在这里能扎根、能成长、能壮大。”
据了解，富创精密基地预计明年正式投产，投产后将进一步加快集成电路装备核心零部件国产化进程，为我国半导体产业转型升级注入“马桥力量”。