02版：新闻
本报记者 赵鹏
在半导体及集成电路这一高端制造的前沿阵地，石英部件如精密齿轮，驱动着整条产业链的高效运转。从“国产化”到“高端化”，漷县走出的副中心企业凯德石英不断拓宽半导体产业延长链，力图在半导体领域加速国产化。作为首家登陆北京证券交易所的城市副中心企业，近日其控股子公司朝阳凯美石英有限公司举行正式投产仪式。
在辽宁省朝阳市喀左经济开发区半导体产业园的投产仪式上，朝阳凯美石英有限公司相关负责人介绍，这次投产的是半导体及集成电路用大口径高品质石英玻璃管项目，预计投资1.2亿元。未来，从这里走出的产品将应用于半导体集成电路、光伏太阳能、化合物半导体等诸多领域，并可制造出国内所需各种型号的高品质石英管材。
步入凯美石英加工车间，一股热浪扑面而来。
半导体集成电路是高新技术产业的核心，石英部件是该产业发展中不可或缺的配套部件，贯穿了半导体产业链的各个环节。而石英部件是半导体及集成电路工艺的重要耗材之一，但目前主流的大口径石英部件由于工艺复杂、加工难度大，一些高精度、高难度、大尺寸的石英部件存在技术壁垒高。“类似石英舟、石英管道等器件在氧化、扩散、刻蚀等使用过程中直接与半导体硅片或晶圆接触，其性能好坏对下游半导体产品的良品率高低将造成直接影响。”生产车间中，技术负责人介绍，这处加工车间拥有独特的排风、净化和加工体系，可满足大口径高品质石英玻璃管等高端石英材料的生产需求。一楼车间，部分半导体用石英管顺利下线。
伴随着这一项目的投产，凯美石英的半导体用高品质石英材料产能逐步扩大，这里也将成为石英材料的国产化生产基地，加速石英制品的国产化进程，有望助力解决对国外产品依赖导致的“卡脖子”问题。
深耕行业近30载，副中心企业凯德石英正重点打造8英寸、12英寸等高端石英部件研发及产业化生产线，以实现对不同产品的个性化定制需求。其间，持续优化产品结构，提高技术水平及生产能力，加速石英部件的国产化进程。这对提升北京市在半导体产业链的核心竞争力、优化产业空间布局和推动周边地区经济发展等方面，都具有积极影响。